展会信息
基本信息
CHInano中国纳博会?经过九年的潜心耕耘,已成为中国规模最大、影响力最广的纳米技术应用产业交流盛会,是纳米企业形象展示、产品推介、技术交流、市场拓展的最佳舞台。CHInano 2018第九届纳博会组织了1场主报告和13场主题论坛,221个行业报告,邀请国内外院士23人。设置了13000平方米展区,吸引了国内外7个展团、25个国家、1000多家纳米技术相关企业参展、参会,展出1300多件纳米技术创新产品,大会期间参会参展人数规模超过14016人。
展品范围
MEMS 加工设备薄膜成形(汽相淀积、溅射、CVD、覆镀;曝光系统、蚀刻技术;防腐处理;刻蚀;晶圆键合;切割;芯片/导线焊接;封装;微成形 (注射, 热压);其他生产设备
纳米压印技术
微纳米模型;纳米压印生产设备
纳米机械
微制程技术
超精度纳米机械工艺;超精密加工, 微制造;表面微加工;精细钻孔;微观切割;雷射、离子脉冲加工;聚焦离子束系统;微放电加工;超声波设备等
分析与检测仪器
光罩缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统;显微镜:光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪;检漏仪器、静电负离子空气净化机;气体分析及检测、分析和测量系统
软件建模
设计工具、仿真软件、CAD & CAE分析软件
MEMS 代工服务
仿真设计、原型测试、产品开发、量产;其他代工服务:图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀
材料
压电薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料;碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷;LTCC 基板Glass substrate、SiC;磁性材料、铁电性材料
生物技术
与医疗应用
MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊;尖端DNA & RNA 技术、微反应器、微流引导等
MEMS 器件
光学MEMS (反射, 光量开关, 扫描等);射频MEMS (开关,振荡器,过滤);MEMS物理传感器 (加速传感器,速率传感器,压力传感器,气体传感器,温度传感器);微射流(微流引导,微感应器等);MEMS执行器(灯,泵);MEMS电能(燃料电池,微发电机等);生物/化学MEMS(DNA/RNA技术,化学检测等);高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)
MEMS 应用
产品 (麦克风,显示等);超微型机械人装置、微型工厂等;传感器网络;能量收集
主办信息
指导单位:中国科学技术协会
中国科学院
主办单位:
中国微米纳米技术学会
中国半导体行业协会MEMS分会
中国材料研究学会纳米材料与器件分会
合作伙伴:
中国半导体行业协会
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
苏州中科院产业技术创新与育成中心
承办单位:
江苏省纳米技术产业创新中心
中国半导体行业协会MEMS分会
上海卓格展览服务有限公司
联系信息
参展联系手机:13584824068
邮箱:wancd@sipac.gov.cn
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